Las aleaciones con memoria de forma (SMA) son materiales que, luego de inducirle alguna deformación, tienen la capacidad de retornar a su forma original por calentamiento. Estos materiales poseen una numerosa cantidad de propiedades interesantes como superelasticidad, alta capacidad de amortiguamiento, alta relación entre la potencia entregada y su peso [1]. La motivación para fabricar láminas de Ni-Ti con SMA por magnetrón sputtering se origina debido a la gran demanda para el desarrollo de microactuadores de alta potencia [2].

En este trabajo se desarrollaron láminas delgadas en composiciones cercanas a la equiatómica (variaciones menores al 3% at.), utilizando la técnica de co-sputtering, en la cual se utilizan simultáneamente dos blancos (NiTi, Ti o Ni). Esta técnica posibilita un control fino de la composición química resultante, y por ende de las temperaturas de transformación. Una vez obtenidas las láminas amorfas depositadas sobre vidrio se realizaron diferentes tratamientos térmicos en atmósfera controlada (encapsulado en vacío o argón) a modo de obtener láminas cristalinas. Las diferentes microestructuras obtenidas fueron caracterizadas mediante Rayos X y Microscopia Electrónica de Transmisión, a modo de estudiar las fases presentes y tener control del tamaño de grano. Las composiciones de las láminas se determinaron por Microanálisis Dispersivo en Energía de Rayos X (EDS-SEM), mientras que las temperaturas de transformación se obtuvieron por Calorimetría Diferencial de Barrido y por el método de Resistividad de Cuatro Puntas.