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CARACTERIZACION MECANICA DE RECUBRIMIENTOS TiN, ZrN y MULTICAPAS DE (TiN/ZrN)n DEPOSITADOS POR MAGNETRON SPUTTERING REACTIVO
Última modificación: 07-11-2016
Resumen
En este trabajo se estudió las propiedades superficiales, mecánicas y resistencia al desgaste al variar del número de capas de nitruro de titanio (TiN) y nitruro de zirconio (ZrN), depositadas sobre sustratos de silicio (111) y acero AISI SAE 8620 bonificado, mediante la técnica magnetrón sputtering (PVD) en ambiente de argón y nitrógeno. Se realizó espectroscopia Raman, determinando los modos vibracionales. Las propiedades superficiales y área de desgaste las cuales se determinaron por medio de perfilometría de contacto; obteniendo una rugosidad promedio de 14,54 nm a 69,08 nm y áreas de desgaste entre 362,18 a 5514,14 . La evaluación de los cambios en la dureza (H), módulo de elasticidad (E) y resistencia a la deformación plástica (H3/E2) se obtuvieron utilizando la técnica de nanoindentación instrumentada; observando una dureza de 5 Gpa a 30 Gpa. La técnica del pin sobre disco se utilizó para determinar las propiedades tribológicas utilizando un contrapar de acero 440 y se utilizó microscopia electrónica de barrido (SEM) para observar y analizar las pistas de desgaste