La transformación martensítica (TM), en ciertas aleaciones, da lugar al efecto de memoria de forma (EMF). El EMF es la capacidad del material de recobrar su forma inicial cuando es sometido a un tratamiento térmico adecuado. El diseño de microsistemas basados en EMF requiere conocer la influencia de la microestructura y de la dimensionalidad en la TM [1]. Se crecieron láminas delgadas de Cu-Al-Ni por pulverización catódica sobre sustratos de Al₂O₃ (001) a diferentes temperaturas de sustrato (T_S) para evaluar el efecto del tamaño de grano y de la dimensionalidad de las láminas sobre la TM. Las láminas delgadas se fabricaron creciendo una lámina de sacrificio de Fe a T_S = 450 °C, y sobre ella la lámina delgada de Cu-Al-Ni. Se utilizó un blanco de Cu-27,35 at.% Al-5,45 at.% Ni con una temperatura nominal de inicio de transformación (M_S) de -23 °C a T_S de 230 °C, 260 °C, 290 °C y 320 °C durante 60 minutos. Las láminas delgadas fueron despegadas del sustrato mediante disolución anódica del Fe a -50 mV vs (Ag/AgCl sat.) en H₃BO₃ 0,5 M. Por difracción de rayos X se detectó fase ? y fase ? en todas las láminas delgadas; por microscopía electrónica de transmisión se observó que el tamaño medio de grano aumenta desde 105 nm hasta 165 nm cuando la T_S se incrementa desde 230 °C a 320 °C y por mediciones de resistividad en función de temperatura se halló que todas las láminas delgadas presentan TM y que la M_S y la histéresis aumentan al incrementar T_S.